晶圆切割机

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AD3000T

最大工作尺寸   φ310

最大兼容结构   12inch(430Φ)

主轴

旋转次数   60,000rpm  OP:80,000rpm

最大刀片直径  φ60

刀片间距   21mm

X轴

切割行程  310mm

最高速度  1000mm/s

传动方式  滚珠丝杠+ LM导轨交流伺服

选择  直线电机+空气导轨

Y1、Y2轴

切割行程  310mm

最高速度  300mm/s

定位分辨率  0.0002mm

传动方式  滚珠丝杠+ LM导轨

Z1、Z2轴

行程  34mm

可重复性  0.001mm

传动方式  滚珠丝杠+ LM导轨

θ 轴

旋转范围  380°

定位分辨率  0.00014°

传动  直接驱动


简介
AD3000T  最大工作尺寸   φ310  最大兼容结构   12inch(430Φ)  主轴  旋转次数   60,000rpm  OP:80,000rpm  最大刀片直径  φ60  刀片间距   21mm  X轴  切割行程  310mm  最高速度  1000mm/s  传动方式  滚珠丝杠+ LM导轨交流伺服  选择  直线电机+空气导轨  Y1、Y2轴  切割行程  310mm